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Plasma etching in semiconductor fabrication

Russ A. Morgan ; 1. -- Elsevier, 1985. -- (Plasma technology ; 1). <BB10034585>
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Russ A. Morgan ; 1. -- Elsevier, 1985. -- (Plasma technology ; 1). <BB10034585>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 1 宇都宮 2F 549.8/Mo44 10011238 0件
No. 0001
巻号 1
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 549.8/Mo44
資料ID 10011238
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Plasma etching in semiconductor fabrication / Russ A. Morgan
出版・頒布事項 Amsterdam ; Tokyo : Elsevier , c1985
形態事項 318 p. : ill. ; 24 cm.
巻号情報
巻次等 1
ISBN 0444424199
書誌構造リンク Plasma technology <BB10100001> 1//a
注記 Includes index
学情ID BA00003964
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Morgan, Russ A., 1950- <AU10008136>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC19:621.3815/2
件名標目等 Semiconductors -- Etching
件名標目等 Plasma etching
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