図書館
ログイン

図書館

前の画面へ戻る

Plasma processing for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown ; : alk. paper. -- Academic Press, 1984. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 8). <BB10035812>
スタンプ登録
あべし(0) きゅんきゅん(0) ぽろぽろ(0) わくわく(0) ざわざわ(0)


登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
目次・あらすじを見る レビューを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

Plasma processing for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown ; : alk. paper. -- Academic Press, 1984. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 8). <BB10035812>
スタンプ登録
あべし(0) きゅんきゅん(0) ぽろぽろ(0) わくわく(0) ざわざわ(0)


登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
目次・あらすじを見る レビューを見る 詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 2F 549.7/V63/8 10011194 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 549.7/V63/8
資料ID 10011194
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
このページのTOPへ
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 Plasma processing for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown
出版・頒布事項 New York ; Orlando : Academic Press , 1984
形態事項 xiv, 527 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
巻次等 : alk. paper
ISBN 0122341082
書誌構造リンク VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <BB10034940> 8//b
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA00536241
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <AU10012046>
著者標目リンク Brown, Dale M. <AU10023666>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration
件名標目等 Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications
このページのTOPへ
前の画面へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)

    購入依頼(リクエスト)

    この書誌のQRコード