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Plasma processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.

editors, J.W. Coburn, R.A. Gottscho, D.W. Hess. -- Materials Research Society, 1986. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 68). <BB10035906>
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Plasma processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.

editors, J.W. Coburn, R.A. Gottscho, D.W. Hess. -- Materials Research Society, 1986. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 68). <BB10035906>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 1F 集密書架 洋書 Z/MA/68 10011696 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 1F 集密書架 洋書
請求記号 Z/MA/68
資料ID 10011696
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Plasma processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A. / editors, J.W. Coburn, R.A. Gottscho, D.W. Hess
出版・頒布事項 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , c1986
形態事項 xvii, 463 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0931837340
書誌構造リンク Materials Research Society symposium proceedings <BB10100045> v. 68//a
注記 Includes indexes
学情ID BA00570669
本文言語コード 英語
著者標目リンク Coburn, J. W., 1932- <AU20002724>
著者標目リンク Gottscho, R. A. <AU10024208>
著者標目リンク Hess, Dennis W. <AU10024209>
著者標目リンク Materials Research Society <AU10008227>
著者標目リンク Symposium on Plasma Processing <AU10037187> (1986 : Palo Alto, Calif.)
分類標目 LCC:TA2005
分類標目 DC19:621.044
件名標目等 Plasma engineering -- Congresses
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