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Science and technology of microfabrication : symposium held December 4-5, 1986, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, R.E. Howard ... [et al.]. -- Materials Research Society, 1987. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 76). <BB10037006>
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Science and technology of microfabrication : symposium held December 4-5, 1986, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, R.E. Howard ... [et al.]. -- Materials Research Society, 1987. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 76). <BB10037006>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 1F 集密書架 洋書 Z/MA/76 10011703 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 1F 集密書架 洋書
請求記号 Z/MA/76
資料ID 10011703
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Science and technology of microfabrication : symposium held December 4-5, 1986, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.E. Howard ... [et al.]
出版・頒布事項 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , c1987
形態事項 xvii, 373 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0931837421
書誌構造リンク Materials Research Society symposium proceedings <BB10100045> v. 76//a
注記 Proceedings of the Symposium on the Science and Technology of Microfabrication, sponsored by the Materials Research Society as part of its 1986 Fall Meeting
注記 Includes bibliographies
学情ID BA01149091
本文言語コード 英語
著者標目リンク Howard, R. E. (Richard Edwin), 1948- <AU10029090>
著者標目リンク Symposium on the Science and Technology of Microfabrication <AU10029091> (1986 : Boston, Mass.)
著者標目リンク Materials Research Society. Meeting <AU10019286> (1986 : Boston, Mass.)
著者標目リンク Materials Research Society <AU10008227>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction -- Congresses
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