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VLSI metallization

edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 15). <BB10037040>
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VLSI metallization

edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 15). <BB10037040>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 2F 549.7/V63/15 10011201 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 549.7/V63/15
資料ID 10011201
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 VLSI metallization / edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat
出版・頒布事項 Orlando ; Tokyo : Academic Press , 1987
形態事項 x, 480 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341155
書誌構造リンク VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <BB10034940> v. 15//b
注記 Includes index
学情ID BA01170156
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <AU10012046>
著者標目リンク Cohen, Simon S. <AU10015354>
著者標目リンク Gildenblat, Gennady Sh. <AU10015355>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73 s
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction
件名標目等 Metallic films
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