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Lithography for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 16). <BB10037272>
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Lithography for VLSI

edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts. -- Academic Press, 1987. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 16). <BB10037272>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 2F 549.7/V63/16 10011202 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 549.7/V63/16
資料ID 10011202
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Lithography for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts
出版・頒布事項 Orlando ; Tokyo : Academic Press , 1987
形態事項 xi, 361 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341163
書誌構造リンク VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <BB10034940> v. 16//b
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA01291241
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <AU10012046>
著者標目リンク Watts, R. K. (Roderick K.), 1939- <AU10029750>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73 s
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration
件名標目等 Printed circuits
件名標目等 Lithography
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