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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators

Ian W. Boyd ; : U.S., : Germany. -- Springer-Verlag, 1987. -- (Springer series in materials science ; v. 3). <BB10037555>
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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators

Ian W. Boyd ; : U.S., : Germany. -- Springer-Verlag, 1987. -- (Springer series in materials science ; v. 3). <BB10037555>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 2F 閉架 Z/SP/3 10002958 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F 閉架
請求記号 Z/SP/3
資料ID 10002958
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators / Ian W. Boyd
出版・頒布事項 Berlin ; New York : Springer-Verlag , c1987
形態事項 viii, 320 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
巻次等 : U.S.
ISBN 0387179518
巻号情報
巻次等 : Germany
ISBN 3540179518
書誌構造リンク Springer series in materials science <BB05090492> v. 3//a
注記 Bibliography: p. 287-313
注記 Includes index
学情ID BA01434688
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Boyd, Ian W. <AU10030615>
分類標目 LCC:TA1677
分類標目 DC19:621.36/6
件名標目等 Lasers -- Industrial applications
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