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Impurity diffusion and gettering in silicon : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, Richard B. Fair, Charles W. Pearce, Jack Washburn. -- Materials Research Society, 1985. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 36). <BB10038057>
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Impurity diffusion and gettering in silicon : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, Richard B. Fair, Charles W. Pearce, Jack Washburn. -- Materials Research Society, 1985. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 36). <BB10038057>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 1F 集密書架 洋書 Z/MA/36 10011667 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 1F 集密書架 洋書
請求記号 Z/MA/36
資料ID 10011667
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Impurity diffusion and gettering in silicon : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, Richard B. Fair, Charles W. Pearce, Jack Washburn
出版・頒布事項 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , c1985
形態事項 xiii, 284 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0931837014
書誌構造リンク Materials Research Society symposium proceedings <BB10100045> v. 36//a
注記 "Proceedings of the Symposium on Impurity Diffusion and Gettering in Semiconductors ... held as Symposium C at the Material's Research Society Meeting, November 27-30, 1984 in Boston"--Acknowledgments
注記 Includes bibliographies and indexes
学情ID BA03262776
本文言語コード 英語
著者標目リンク Fair, Richard B. <AU10032843>
著者標目リンク Pearce, Charles W. <AU10033631>
著者標目リンク Washburn, Jack, 1921- <AU10033632>
著者標目リンク Symposium on Impurity Diffusion and Gettering in Semiconductors <AU10033633> (1984 : Boston, Mass.)
著者標目リンク Materials Research Society. Meeting <AU10019286> (1984 : Boston, Mass.)
著者標目リンク Materials Research Society <AU10008227>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC19:621.3815/2
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
件名標目等 Semiconductors -- Defects -- Congresses
件名標目等 Diffusion -- Congresses
件名標目等 Semiconductor doping -- Congresses
件名標目等 Getters -- Congresses
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