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Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, R.M. Osgood, S.R.J. Brueck, and H.R. Schlossberg. -- North-Holland, 1983. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 17). <BB10038062>
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Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, R.M. Osgood, S.R.J. Brueck, and H.R. Schlossberg. -- North-Holland, 1983. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 17). <BB10038062>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 1F 集密書架 洋書 Z/MA/17 10011660 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 1F 集密書架 洋書
請求記号 Z/MA/17
資料ID 10011660
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.M. Osgood, S.R.J. Brueck, and H.R. Schlossberg
出版・頒布事項 New York : North-Holland , c1983
形態事項 xiii, 298 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0444007822
書誌構造リンク Materials Research Society symposium proceedings <BB10100045> v. 17//a
注記 "Sponsored by the Air Force Office of Scientific Research"--T.p. verso
注記 Includes bibliographical references and indexes
学情ID BA03265606
本文言語コード 英語
著者標目リンク Osgood, R. M. <AU10032831>
著者標目リンク Brueck, S. R. J. <AU10033564>
著者標目リンク Schlossberg, H. R. <AU10024167>
著者標目リンク United States. Air Force. Office of Scientific Research <AU00031658>
分類標目 LCC:TA1673
分類標目 DC19:621.3815/2
件名標目等 Lasers -- Industrial applications -- Congresses
件名標目等 Semiconductors -- Congresses
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