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Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, R.P.H. Chang, B. Abeles. -- Materials Research Society, 1985. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 38). <BB10038085>
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Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A.

editors, R.P.H. Chang, B. Abeles. -- Materials Research Society, 1985. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 38). <BB10038085>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 1F 集密書架 洋書 Z/MA/38 10011668 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 1F 集密書架 洋書
請求記号 Z/MA/38
資料ID 10011668
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.P.H. Chang, B. Abeles
出版・頒布事項 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , c1985
形態事項 xv, 522 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0931837030
書誌構造リンク Materials Research Society symposium proceedings <BB10100045> v. 38//a
注記 Papers presented at the Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials held in Boston, Mass. on Nov. 27-30, 1984
注記 Includes bibliographies and indexes
学情ID BA03290705
本文言語コード 英語
著者標目リンク Chang, R. P. H. (Robert Pang Heng), 1941- <AU10032846>
著者標目リンク Abeles, B. <AU10033634>
著者標目リンク Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials <AU10033635> (1984 : Boston, Mass.)
著者標目リンク Materials Research Society <AU10008227>
分類標目 LCC:TA2005
分類標目 DC19:621.044
件名標目等 Plasma engineering -- Congresses
件名標目等 Plasma etching -- Congresses
件名標目等 Electronics -- Materials -- Congresses
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