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Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction

R.V. Stuart. -- Academic Press, 1983. <BB10040227>
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Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction

R.V. Stuart. -- Academic Press, 1983. <BB10040227>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 2F 534.93/St9 10010634 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 534.93/St9
資料ID 10010634
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction / R.V. Stuart
出版・頒布事項 New York : Academic Press , 1983
形態事項 viii, 151 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0126747806
注記 Includes index
学情ID BA06945480
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Stuart, R. V. <AU10010260>
分類標目 LCC:TP156.V3
分類標目 DC19:621.5/5
件名標目等 Vacuum technology
件名標目等 Thin films
件名標目等 Cathode sputtering (Plating process)
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