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Ion implantation techniques : lectures given at the Ion Implantation School, in connection with the Fourth International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques, Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-15, 1982

editors, H. Ryssel and H. Glawischnig ; : us, : gw. -- Springer-Verlag, 1982. -- (Springer series in electrophysics ; v. 10). <BB10040344>
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Ion implantation techniques : lectures given at the Ion Implantation School, in connection with the Fourth International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques, Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-15, 1982

editors, H. Ryssel and H. Glawischnig ; : us, : gw. -- Springer-Verlag, 1982. -- (Springer series in electrophysics ; v. 10). <BB10040344>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 2F 432.4/I61 10005990 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 432.4/I61
資料ID 10005990
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Ion implantation techniques : lectures given at the Ion Implantation School, in connection with the Fourth International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques, Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-15, 1982 / editors, H. Ryssel and H. Glawischnig
出版・頒布事項 Berlin ; New York : Springer-Verlag , 1982
形態事項 xii, 372 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
巻次等 : us
ISBN 0387118780
巻号情報
巻次等 : gw
ISBN 3540118780
書誌構造リンク Springer series in electrophysics <BB34010955> v. 10//a
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA07160406
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Ion Implantation School <AU10037905> (1982 : Berchtesgaden, Germany)
著者標目リンク Ryssel, Heiner, 1941- <AU10037896>
著者標目リンク Glawischnig, H. (Hans), 1939- <AU10037897>
著者標目リンク International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques <AU10037898>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC19:621.3815/2
件名標目等 Ion implantation -- Addresses, essays, lectures
件名標目等 Semiconductor doping -- Addresses, essays, lectures
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