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Advanced processing of semiconductor devices : 23-25 March 1987, Bay Point, Florida

Sayan D. Mukherjee, editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating sponsor, the Metallurgical Society ; pbk.. -- SPIE, 1987. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 797). <BB10041865>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 pbk. 宇都宮 2F 閉架 Z/PR/797 10012463 0件

No. 0001
巻号 pbk.
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F 閉架
請求記号 Z/PR/797
資料ID 10012463
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 Advanced processing of semiconductor devices : 23-25 March 1987, Bay Point, Florida / Sayan D. Mukherjee, editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating sponsor, the Metallurgical Society
出版・頒布事項 Bellingham, Wash., USA : SPIE , c1987
形態事項 x, 366 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等 pbk.
ISBN 089252832X
書誌構造リンク Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB34007201> v. 797//a
注記 Includes biblographies
学情ID BA13205280
本文言語コード 英語
著者標目リンク Mukherjee, Sayan D. <AU10043815>
著者標目リンク Society of Photo-optical Instrumentation Engineers <AU10021497>
著者標目リンク Metallurgical Society (U.S.) <AU10034317>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC19:621.3815/2
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction -- Congresses