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Integrated circuit metrology : May 4-5, 1982, Arlington, Virginia

Diana Nyyssonen, chairman/editor ; cooperating organization, National Bureau of Standards ; pbk.. -- SPIE--the International Society for Optical Engineering, 1982. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 342). _. <BB10052320>
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Integrated circuit metrology : May 4-5, 1982, Arlington, Virginia

Diana Nyyssonen, chairman/editor ; cooperating organization, National Bureau of Standards ; pbk.. -- SPIE--the International Society for Optical Engineering, 1982. -- (Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 342). _. <BB10052320>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 pbk. 宇都宮 2F 閉架 Z/PR/342 10042504 0件
No. 0001
巻号 pbk.
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F 閉架
請求記号 Z/PR/342
資料ID 10042504
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Integrated circuit metrology : May 4-5, 1982, Arlington, Virginia / Diana Nyyssonen, chairman/editor ; cooperating organization, National Bureau of Standards
出版・頒布事項 Bellingham, Wash., USA : SPIE--the International Society for Optical Engineering , c1982
形態事項 vi, 132 p. : ill. ; 28 cm
巻号情報
巻次等 pbk.
ISBN 0892523778
書誌構造リンク Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering <BB34007201> v. 342//a
注記 Includes bibliographical references and indexes
学情ID BA23966771
本文言語コード 英語
著者標目リンク Nyyssonen, Diana <AU10048041>
著者標目リンク United States. National Bureau of Standards <AU10010413>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Integrated circuits -- Congresses
件名標目等 Mensuration -- Congresses
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