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Tungsten and other refractory metals for VLSI applications II : proceedings of the 1986 workshop held November 12-14, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.

sponsored by Continuing Education in Engineering, University Extension, University of California, Berkeley ; editor, Eliot K. Broadbent ; associate editors, Robert S. Blewer ... [et al]. -- Materials Research Society, 1987. -- (Materials Research Society conference proceedings). <BB10001106>
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Tungsten and other refractory metals for VLSI applications II : proceedings of the 1986 workshop held November 12-14, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.

sponsored by Continuing Education in Engineering, University Extension, University of California, Berkeley ; editor, Eliot K. Broadbent ; associate editors, Robert S. Blewer ... [et al]. -- Materials Research Society, 1987. -- (Materials Research Society conference proceedings). <BB10001106>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 2F 549.7/Tu 5 20008244 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 549.7/Tu 5
資料ID 20008244
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Tungsten and other refractory metals for VLSI applications II : proceedings of the 1986 workshop held November 12-14, 1986, Palo Alto, California, U.S.A. / sponsored by Continuing Education in Engineering, University Extension, University of California, Berkeley ; editor, Eliot K. Broadbent ; associate editors, Robert S. Blewer ... [et al]
出版・頒布事項 Pittsburgh, Pa : Materials Research Society , c1987
形態事項 xvii, 426 p. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0931837669
書誌構造リンク Materials Research Society conference proceedings <BB10107776>//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA33720519
本文言語コード 英語
ISSN 08867860
著者標目リンク Workshop on Tungsten and Other Refractory Metals for VLSI Applications <AU10046266> (2nd : 1986 : Palo Alto)
著者標目リンク Eliot K. Broadbent <>
著者標目リンク Blewer, R. S. <AU10039031>
著者標目リンク Materials Research Society <AU10008227>
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