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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). _. <BB10052261>
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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). _. <BB10052261>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 2F 420.8/O95/8 10055148 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 420.8/O95/8
資料ID 10055148
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 裳華房 , 1998.3
形態事項 x, 234p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4785325089
書誌構造リンク 応用物理学選書||オウヨウ ブツリガク センショ <BB10119463> 8//a
その他の標題 その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
注記 欧文標題は標題紙裏による
注記 付: 参考文献, 参考書
学情ID BA35144601
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 吉田, 善一(1957-)||ヨシダ, ヨシカズ <AU10051219>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 電子光学||デンシコウガク
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 機械工作||キカイコウサク
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