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超LSI回路とプロセス

西澤潤一編. -- 工業調査会, 1986. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 24巻 . 超LSI技術 ; 10). _. <BB10004407>

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超LSI回路とプロセス

西澤潤一編. -- 工業調査会, 1986. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 24巻 . 超LSI技術 ; 10). _. <BB10004407>

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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No.	巻号	所蔵館	配置場所	請求記号	資料ID	状態	返却予定日	予約	WEB書棚
0001		宇都宮	2F	549.8/H29/24	10058906			0件


No.	0001
巻号
所蔵館	宇都宮
配置場所	2F
請求記号	549.8/H29/24
資料ID	10058906
状態
返却予定日
予約	0件
WEB書棚

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書誌詳細

標題および責任表示

超LSI回路とプロセス / 西澤潤一編
チョウ LSI カイロトプロセス

出版・頒布事項

東京 : 工業調査会 , 1986.8

形態事項

8, 324p : 挿図 ; 27cm

巻号情報

ISBN	4769310544

書誌構造リンク

半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイケンキュウ <BB10118563> 24巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 10//bb

注記

執筆: 秋谷秀夫ほか

注記

各章末: 参考文献

学情ID

BN00551043

本文言語コード

日本語

著者標目リンク

西澤, 潤一(1926-)||ニシザワ, ジュンイチ <AU05022184>

分類標目

電子工学 NDC8:549

分類標目

科学技術 NDLC:ND371

件名標目等

半導体||ハンドウタイ

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