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半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著. -- 産業図書, 1980. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB10014386>

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半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著. -- 産業図書, 1980. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB10014386>

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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No.	巻号	所蔵館	配置場所	請求記号	資料ID	状態	返却予定日	予約	WEB書棚
0001		宇都宮	2F	549.8/Su25	10017344			0件


No.	0001
巻号
所蔵館	宇都宮
配置場所	2F
請求記号	549.8/Su25
資料ID	10017344
状態
返却予定日
予約	0件
WEB書棚

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書誌詳細

標題および責任表示

半導体プラズマプロセス技術 / 菅野卓雄編著
ハンドウタイプラズマプロセスギジュツ

出版・頒布事項

東京 : 産業図書 , 1980.7

形態事項

6, 373p ; 22cm

巻号情報

ISBN	4782856210

書誌構造リンク

集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキカイロプロセスギジュツシリーズ <BB10121348>//a

注記

各章末:参考文献

学情ID

BN0059785X

本文言語コード

日本語

著者標目リンク

菅野, 卓雄(1931-)||スガノ, タクオ <AU05000076>

分類標目

NDC6:549.7

分類標目

電子工学 NDC8:549.7

分類標目

科学技術 NDLC:ND386

件名標目等

集積回路||シュウセキカイロ

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