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超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <BB10014664>
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「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <BB10014664>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 2F 572.2/D59 10017974 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 572.2/D59
資料ID 10017974
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 超LSI時代のプラズマ化学 / 「電子材料」編集部編
チョウ LSI ジダイ ノ プラズマ カガク
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1983.9
形態事項 213p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4769310315
注記 各章末:参考文献
学情ID BN00621353
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電子材料編集部||デンシ ザイリョウ ヘンシュウブ <AU10018444> 編
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.7
分類標目 科学技術 NDLC:PA181
分類標目 科学技術 NDLC:MC241
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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