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微細加工とレジスト

野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987. -- (高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3). <BB00134328>
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微細加工とレジスト

野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987. -- (高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3). <BB00134328>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 八王子 BF 集密書架C 和図書別置1 578.08/Ko-14/3 00001372297 0件
0002 宇都宮 2F 578.08/Ko14/3 10018088 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 八王子
配置場所 BF 集密書架C 和図書別置1
請求記号 578.08/Ko-14/3
資料ID 00001372297
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 578.08/Ko14/3
資料ID 10018088
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
ビサイ カコウ ト レジスト
出版・頒布事項 東京 : 共立出版 , 1987.11
形態事項 iv, 99p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4320042271
書誌構造リンク 高分子新素材one point / 高分子学会編||コウブンシ シンソザイ one point <BB00201655> 3//a
学情ID BN01734322
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 野々垣, 三郎
ノノガキ, サブロウ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 電子光学||デンシコウガク
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