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ULSIプロセスの基礎技術

古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著. -- 丸善, 1991. -- (Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08). <BB10030619>
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ULSIプロセスの基礎技術

古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著. -- 丸善, 1991. -- (Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08). <BB10030619>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 2F 549.7/F93 10017217 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 549.7/F93
資料ID 10017217
状態
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著
ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1991.3
形態事項 xi, 262p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4621035835
書誌構造リンク Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 <BB21009905> . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編||ザイリョウ コウガクヘン ; M08//a
注記 各章末: 文献
学情ID BN06180206
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 古川, 静二郎(1934-)||フルカワ, セイジロウ <AU10011028>
著者標目リンク 石原, 健||イシハラ, タケシ <AU10042758>
著者標目リンク 堂山, 昌男(1927-)||ドウヤマ, マサオ <AU20010468>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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