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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決

垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB10032716>

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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決

垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB10032716>

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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No.	巻号	所蔵館	配置場所	請求記号	資料ID	状態	返却予定日	予約	WEB書棚
0001		宇都宮	2F	549.7/Ko12	10017232			0件


No.	0001
巻号
所蔵館	宇都宮
配置場所	2F
請求記号	549.7/Ko12
資料ID	10017232
状態
返却予定日
予約	0件
WEB書棚

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書誌詳細

標題および責任表示

VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決 / 垂井康夫監修 ; 小林稔, 中島蕃著
VLSI プロセスギジュツ : コウブドマリノタメノモンダイテントソノカイケツ

出版・頒布事項

東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.6

形態事項

iv, 4, 143, 2p ; 22cm

巻号情報

ISBN	4526033383

学情ID

BN09282610

本文言語コード

日本語

著者標目リンク

小林, 稔(1932-)||コバヤシ, ミノル <AU10046494>

著者標目リンク

中島, 蕃||ナカジマ, シゲル <AU10046476>

著者標目リンク

垂井, 康夫(1929-)||タルイ, ヤスオ <AU10017565>

分類標目

電子工学 NDC8:549.7

分類標目

NDC7:549.8

件名標目等

集積回路||シュウセキカイロ

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