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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工

阿部孝夫著. -- 培風館, 1994. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5). _. <BB10050092>
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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工

阿部孝夫著. -- 培風館, 1994. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5). _. <BB10050092>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 宇都宮 2F 565.8/A 12 10049200 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇都宮
配置場所 2F
請求記号 565.8/A 12
資料ID 10049200
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
シリコン : ケッショウ セイチョウ ト ウエーハ カコウ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1994.5
形態事項 xii, 361p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4563036056
書誌構造リンク アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <BB10143205> カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 5//aa
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN10742751
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 阿部, 孝夫||アベ, タカオ <AU10013487>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
件名標目等 結晶成長||ケッショウセイチョウ
件名標目等 電子部品||デンシブヒン
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